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蚀刻机和光刻机哪个先进

发布时间:2023-03-10

       1.从工作原理上看光刻机和蚀刻机。如果把制造芯片比喻成盖房子,那么光刻机的作用就是把房子的结构标注在地上。刻蚀机就是在光刻完成以后才登场的设备,也是光刻完成以后为重要的设备之一。刻蚀机主要的作用就是按照光刻机已经标注好的线去做基础建设,把不需要的地方给清除掉,只留下光刻过程中标注好的线路。


       2.结构对比从结构上来看光刻机和蚀刻机。光刻机的主要的核心技术就是光源和光路,其光源和光路的主要组成部分有四个,光源、曝光、检测、和其他高精密机械组成。对比之下,蚀刻机的结构组成就要简单很多,主要是等离子体射频源、反应腔室和真空气路等组成。


蚀刻机的工作内容


       蚀刻机主要由等离子体射频源、反应腔室和真空气路等组成,主要的作用:光刻机把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上后,利用蚀刻机把不需要的地方给清除掉,只留下光刻过程中标注好的线路、图形等。

       因此,在芯片制造环节中,光刻机完成了本身工作,就需要由蚀刻机来二次加工,形成一个完成的芯片制造工艺链。可以说,蚀刻机是光刻之后必不可少的设备,也是辅助光刻机工作的重要环节。

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