1.从工作原理上看光刻机和蚀刻机。如果把制造芯片比喻成盖房子，那么光刻机的作用就是把房子的结构标注在地上。刻蚀机就是在光刻完成以后才登场的设备，也是光刻完成以后为重要的设备之一。刻蚀机主要的作用就是按照光刻机已经标注好的线去做基础建设，把不需要的地方给清除掉，只留下光刻过程中标注好的线路。

       2.结构对比从结构上来看光刻机和蚀刻机。光刻机的主要的核心技术就是光源和光路，其光源和光路的主要组成部分有四个，光源、曝光、检测、和其他高精密机械组成。对比之下，蚀刻机的结构组成就要简单很多，主要是等离子体射频源、反应腔室和真空气路等组成。

蚀刻机的工作内容

       蚀刻机主要由等离子体射频源、反应腔室和真空气路等组成，主要的作用：光刻机把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上后，利用蚀刻机把不需要的地方给清除掉，只留下光刻过程中标注好的线路、图形等。

       因此，在芯片制造环节中，光刻机完成了本身工作，就需要由蚀刻机来二次加工，形成一个完成的芯片制造工艺链。可以说，蚀刻机是光刻之后必不可少的设备，也是辅助光刻机工作的重要环节。